日立(Hitachi)臺(tái)式掃描電子顯微鏡TM4000PlusIII/TM4000III的特點(diǎn)：
★節(jié)省人力成本，降低操作技術(shù)難度
▲多樣品自動(dòng)化觀察：觀察工作流程的自動(dòng)化功能（TM4000PlusIII）
可以作為程序保存樣品臺(tái)移動(dòng)、倍率變更、拍照等觀察流程。程序化的觀察流程，一鍵單擊即可自動(dòng)執(zhí)行操作。
為不同類型客戶（如日常使用量較多，需進(jìn)行多樣品觀察的客戶，對(duì)觀察條件不確定的客戶等）節(jié)省人力成本，降低操作技術(shù)難度。
▲實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)顆粒分析：大電流功能 + AZtecLiveLite 顆粒分析功能
工業(yè)產(chǎn)品的清潔度分析和使用過濾膜收集顆粒并進(jìn)行自動(dòng)分析的測(cè)量顆粒較多，因此需要的分析時(shí)間較長(zhǎng)。
TM4000PlusIII配有全新的大電流模式，支持牛津儀器公司的能譜探測(cè)器，以及AZtecLiveLite顆粒分析功能包，從而可以實(shí)現(xiàn)快速的顆粒分析。
★設(shè)備管理更有規(guī)劃性
▲日常維護(hù)：燈絲監(jiān)控
搭載燈絲監(jiān)測(cè)功能，可在需要更換燈絲時(shí)發(fā)出提示。
多人使用設(shè)備時(shí)，可減少突然燈絲燒斷導(dǎo)致更換燈絲的擔(dān)憂，從而可以更合理的規(guī)劃使用設(shè)備。
▲自動(dòng)檢查儀設(shè)備狀態(tài)：AutoOQ（Auto Operational Qualification)
此功能可查看SEM狀態(tài)報(bào)告，可掌握設(shè)備狀態(tài)并共享給服務(wù)工程師。
★作為全新教學(xué)設(shè)備
▲洞察無需樣品前處理的微觀世界：低真空功能 + 高靈敏度背散射電子探測(cè)器
可以直接觀察各種樣品（如植物、礦石、食品等）的顯微圖像，
TM4000PlusIII/TM4000III的低真空功能減少了樣品前處理過程，通過高靈敏度的背散射電子探測(cè)器可快速獲取圖像。
▲作為Python編程教學(xué)演示設(shè)備：觀察工作流程的自動(dòng)化功能（TM4000PlusIII）
培養(yǎng)并保障數(shù)字化人才是全球重要的課題之一。
TM4000PlusIII的自動(dòng)化功能中融入了“順序語句”“循環(huán)語句”“條件語句”等編程中重要的概念，通過TM4000PlusIII操作可以體驗(yàn)學(xué)習(xí)編程。
(Hitachi)日立臺(tái)式掃描電子顯微鏡TM4000PlusIII/TM4000III規(guī)格：
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項(xiàng)目
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TM4000PlusIII
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TM4000III
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倍率
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×10～×100,000（照片倍率）
×25～×250,000（顯示器倍率）
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加速電壓
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5 kV、10 kV、15 kV、20 kV
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圖像信號(hào)
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背散射電子
二次電子
復(fù)合圖像（背散射電子+二次電子）
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背散射電子
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真空模式
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導(dǎo)電體（僅背散射電子）
標(biāo)準(zhǔn)
荷電減輕
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標(biāo)準(zhǔn)
荷電減輕
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樣品可移動(dòng)范圍
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X：40 mm Y：35 mm
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大樣品尺寸：
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80 mm（直徑） 50 mm（厚度）
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電子槍
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預(yù)對(duì)中鎢燈絲電子槍
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檢測(cè)器
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背散射電子：高感度4分割 背散電子檢測(cè)器
二次電子：高感度低真空 二次電子檢測(cè)器
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背散射電子：高感度4分割 背散射電子檢測(cè)器
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排氣系統(tǒng)
（真空泵）
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渦輪分子泵：67 L/s 1臺(tái)
隔膜泵：20 L/min
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馬達(dá)臺(tái)
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自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)
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手動(dòng)樣品臺(tái)
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尺寸與重量
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主機(jī)：330（寬）×614（縱深）×547（高）mm 55 kg
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330（寬）×617（縱深）×547（高）mm 53 kg
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隔膜泵：144（寬度）×270（縱深）×216（高度）mm
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